部分產(chǎn)線停擺！傳臺積電5nm晶圓廠出現(xiàn)氣體污染事故

聯(lián)合報7月30日報道，臺積電先進制程的南科18a廠，因部分來自廠商供應(yīng)氧體疑似受到污染，7月29日晚間部分產(chǎn)線停擺。臺灣媒體，此次事故造成重大影響。

臺積電表示，已實時調(diào)度其他氣體供應(yīng)，此現(xiàn)象對產(chǎn)線并無造成顯著影響，芯片仍正常生產(chǎn)。不過30日上午供應(yīng)商全數(shù)被擋在廠區(qū)外，且消息傳出30日12時臺積電18廠舉行生產(chǎn)會議。

據(jù)經(jīng)濟日報消息，7月30日上午，廠區(qū)人員出入頻繁但都三緘其口、不愿受訪發(fā)表意見；臺機18廠各貨運以及人車陸續(xù)進出、上午廠區(qū)后方有大量水汽排出。

臺媒稱，行業(yè)人士擔(dān)心，由于超標(biāo)的氣體一直輸送到產(chǎn)線，恐怕會有報廢品問題，且由于臺積電的晶圓18廠所負責(zé)的5nm晶圓，是蘋果iPhone的重要零組件，而隨著新款iPhone上市在即，是否會對iPhone生產(chǎn)及供貨造成問題，都還有待觀察。

而臺積電2019年在南科晶圓14B廠也曾因為光阻原料造成晶圓良率異常，報廢上萬片芯片并重做，還因此使當(dāng)年第一季營收減少約5.5億美元，調(diào)降第一季財測，這次氣體供應(yīng)出問題，是否會造成晶圓報廢，后續(xù)影響還有待持續(xù)觀察。